北京旦顺实业有限公司

本公司COL－系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤，强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到最佳温度控制精度。
技术参数：
1.百级无尘烤箱型号：COL-2
2.无尘烘箱工作尺寸（mm）：W600×H600×D500
3.温度范围：RT＋60℃～300℃
4.无尘烤箱洁净度：100级；
5.温度均匀性：±1.5%
6.波动度：±0.5℃
7.电源：380V 50Hz 7.5KW；
8.箱体材料：外箱采用 SS41＃中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘（PARTICLE），内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢，保温材料：超细玻璃棉；
9.空气循环装置：大容量轴流电机；
10.加热方式：不锈钢电加热器；
11.温度测量传感器：Pt100铂电阻；
12.控制仪表：进口数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；
13.超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；
14.控制系统：主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件；
15.排气口：ф50；
16.隔板：2层，不锈钢方通，承重约30KG.