品牌：

上海旦顺

类型：

精密干燥箱

充氮厌氧烘箱专用于硅片（或晶片、晶圆片、圆片）进行清洗之后干燥硅片工艺。
PHH-系列充氮厌氧烘箱特点：
1）全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
2）耐高温，可以达到和工作场同样的地洁净等级；
技术参数：
1.型号：PHH-1008
2.工作尺寸（mm）：W1400×H1300×D600（宽*高*深）
3.外形尺寸（mm）：W1990×H1850×D810（宽*高*深）
4.送风方式：强制送风循环。
5.温度范围：RT＋10℃～300℃。
6.温度波动：<±0.5℃。
7.温度均匀：±1.5%。
依测规范：测SENSOR置放点，离内箱壁内尺寸1／10处。
8.温控装置：日本富士P.I.D智能温控仪表，LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、时间定时。
温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器。
测温装置：1支PT100铂电阻温度传感装置，测温精确。
定时装置：HS48S-99.99定时仪表。
9.内室材料：采用 1.0mm厚度SUS不锈钢钢板板金折弯加工，周身做氩弧焊满焊，密闭，氮气不泄露；外箱优质SUS不锈钢数字加工而成，美观大方。
10.保温材质：硅酸铝。
11.特质复合式SUS304＃不锈钢电热产生器。
12.保护装置：超温保护，欠相保护，过载保护器，蜂鸣器，开门氮气自动中断保护